精密仪器振动控制

精密仪器振动控制面向对振动高度敏感的仪器与设备，主要应用方向包括：

• 精密测量仪器
• 实验室设备
• 光学设备
• 半导体设备
• 精密加工设备
• 高精度制造设备

精密仪器与高精度设备的振动问题来源多样，常见类型包括：

• 环境微振动：来自周边交通、人员走动、设备运行等外界扰动。
• 设备自身振动：设备内部运动部件、风机、泵等产生的振动。
• 结构传递振动：振动通过楼板、基础与支撑结构传递至仪器。
• 低频振动：难以通过常规隔振措施衰减，对成像与测量结果影响明显。
• 高频振动：机加工与高速运动部件引起的高频振动。

围绕上述问题，公司提供以下技术方向：

• 微振动测试
• 精密隔振
• 主动隔振与被动隔振
• 振动监测
• 振动分析