微振动隔振装置

产品说明

微振动隔振装置针对环境微振动设计，通过对地面与楼板振动传递路径的隔离，降低微振动对高精度设备的影响。

适用场景

• 半导体与电子制造设备
• 光学与显微成像设备
• 高精度加工与检测设备

技术特点

• 面向微振动幅值控制需求设计
• 可结合现场振动测试结果选型
• 支持被动与主动隔振方向组合