01
场景说明
本条为应用场景介绍，非已完成项目业绩。半导体制造对振动有极高要求，随着制程精度不断提升，环境振动控制已成为影响工艺良率的重要因素。
02
常见振动问题
- 周边交通、人员走动与设备运行引起的环境微振动
- 建筑设备（空调、水泵、空压机）产生的振动传递
- 低频振动对制程设备精度的影响
- 设备自身振动与结构振动的耦合
03
推荐技术方案
- 环境振动测试：评估场地与楼板振动水平
- 防微振基座与精密隔振平台：降低振动传递
- 气浮薄膜隔振器与空气弹簧隔振器：低固有频率隔振
- 长期微振动监测：跟踪环境振动变化